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文章詳情
怎樣保養無塵室
日期:2025-04-19 12:35
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摘要:
無塵室內系統除了通稱的空調系統之外,制程設備也包括在內,本片將對該二系統之運轉維護及保養做一說明。
無塵室內之生產制造設備應注意以下事項:
1.生產設備之選擇、布置與保養:
◆.要選用發塵性較少的生產設備及相關設備,尤其須注意活動部分之發塵。
◆.應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。
◆.生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應配備過濾裝置。
◆.規劃各設備之配置空間時,事先宜考慮不易積累微塵之結構,規劃各并以容易清潔為原則。
◆.真空泵等容...
無塵室內系統除了通稱的空調系統之外,制程設備也包括在內,本片將對該二系統之運轉維護及保養做一說明。
無塵室內之生產制造設備應注意以下事項:
1.生產設備之選擇、布置與保養:
◆.要選用發塵性較少的生產設備及相關設備,尤其須注意活動部分之發塵。
◆.應選擇塵埃之影響較小的生產設備或接口設備。
◆.生產用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因,故應配備過濾裝置。
◆.規劃各設備之配置空間時,事先宜考慮不易積累微塵之結構,規劃各并以容易清潔為原則。
◆.真空泵等容易產生污染物的這類設備,應設置在無塵室外面或回風區,并加裝排氣管線排氣。
◆.設置給水管線、氣體管線和電氣系統時,其構造須考慮到容易清潔,不易積累污染物。
◆.生產及相關設備應定期清掃,以避免微塵之堆積。
◆.應加強注意室內的溫濕度控制,避免因濕度之不當造成結露生銹。
◆.當設備維修時易產生微塵粒子,故維修時盡量于清潔室外進行,并加隔離柵隔離。
◆.對于施工或維修之廠商,應告知進出無塵室之各項規定,且負責工程師應隨侍在側監工。
◆.應有無塵室專用工具組,但不得帶出無塵室外使用。
◆.規劃空間時若能臨近無塵室設立一間維修和設備保養手冊置放室,將是一理想之規劃。
2.生產設備之防塵措施:
◆.磨損、切削均為發生微塵之原因,故需將發塵部分掩蓋之。
◆.易產生塵埃之設備,若能的話應布置于風尾地點。
◆.在操作時,盡量減少接觸零件或產品。
◆.不得有太大或不必要的操作動作,以免卷起附近之灰塵。
◆.各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產設備前應有過濾設備。
◆.為不使氣體或液體滯留,造成微污染,故管路配置應有旁路閥之設置。
3.自動化與無塵化:
◆.設立自動化傳送系統,可減少人員方面所帶來的污染,唯費用相當昂貴,須詳加評估。
◆.建立管制項目如進入無塵室人員的資格限定,無塵室作業人員作業規則,無塵室管理規則等,這些規則已在前面章節敘述,此處不再說明。
在無塵室之維護管理方面,可分三部分加以說明:
1.建筑物之維護管理:
◆.建筑物內定期檢查清潔。
◆.地板之清掃管理及損壞更新。
◆.隔間墻及天花板檢查清潔和封補。
◆.窗戶及門之保養等。
2.環境測定與管理:
無塵室內之運轉環境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定期量測,以確實掌握質量,若有數據異常,可立即做緊急處理。
3.防塵空調設備之維護管理:
◆.溫、濕度及塵埃濃度管理,在前面以述及,唯其量測儀器應做定期校正檢驗,若有設備移動或施工時須做局部測量。
◆.過濾網之管理:定期檢查及更換,表6為各種過濾網之檢查及更換周期。
◆.空氣調節器管理:定期檢查隔板接縫及內部污染狀況,冷熱盤管是否有腐蝕現象。
◆.送風機之管理:定期檢查送風機運轉狀況。如表7所示為送風機之各項檢查內容及周期。
◆.風管及出風口之管理:檢查風管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。
◆.測試及量測儀器管理:定期校正及保養。
◆.室內壓力管理:連續監視室內壓力記錄,以維持正壓為基準。
◆.冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理:定期檢查保養及記錄運轉狀況及水質變化分析,以調整加藥量等。
◆.無塵室停止運轉再開機要點管理:啟動后立即進行微塵粒子之測試,須無塵室恢復穩定正常時再開始作業。